MgF_2薄膜对荧光薄膜紫外响应灵敏度的增强特性研究

作     者：卢忠荣 倪争技 陶春先 洪瑞金 张大伟 黄元申 LU Zhong-rong;NI Zheng-ji;TAO Chun-xian;HONG Rui-jin;ZHANG Da-wei;HUANG Yuan-shen

作者机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海市现代光学系统重点实验室教育部光学仪器与系统工程中心上海200093 

出 版 物：《光谱学与光谱分析》 (Spectroscopy and Spectral Analysis)

年 卷 期：2014年第34卷第3期

页      面：709-712页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0703[理学-化学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金项目(61205156 11105149) 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ150040) 上海市超精密光学加工与检测服务平台建设项目(11DZ2290301)资助 

主　　题：荧光薄膜 MgF2 紫外响应 灵敏度 

摘      要：在光敏面上镀制荧光薄膜将紫外光转变为可见光，是提高CCD和CMOS图像传感器紫外响应灵敏度的一种有效方法。针对荧光薄膜入射界面的散射和反射损耗降低荧光发光强度的分析，研究在荧光薄膜上镀制增透膜和阻隔膜的灵敏度增强特性。采用真空热阻蒸发的镀膜方法分别制备了单层Lumogen荧光薄膜和MgF2/Lumogen复合膜。利用原子力显微镜，紫外可见近红外分光光度计，荧光光谱仪对两种样品的表面粗糙度，漫反射和透射光谱以及荧光发光光谱分别进行对比测试分析。结果表明：M g F2保护层降低了表面粗糙度，减小了入射界面的漫反射损耗，对500～700 nm的可见波段具有明显增透作用，也增强了Lumogen薄膜对紫外波段受激发射的荧光强度；同时，MgF2薄膜的抗损伤及水汽隔离性能对荧光薄膜紫外响应能力具有保护作用，为延长紫外CCD薄膜及器件的工作寿命提供了有效手段。