纳机电系统的阻尼特性
Damping Characteristics of NEMS作者机构：江苏常州工程职业技术学院江苏常州213000
出 版 物：《机械工程与自动化》 (Mechanical Engineering & Automation)
年 卷 期：2007年第4期
页 面：180-182页
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080101[工学-一般力学与力学基础] 0702[理学-物理学] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）]
摘 要：简要介绍了几种对纳米谐振梁的能量耗散有显著影响的阻尼机制,以及相关的研究结果。随后,给出了与纳米梁相关的几种振动理论,并分别用它们对振动过程作数值模拟。根据Langmuir单层吸附理论和统计热力学原理,着重研究气体分子在谐振梁表面吸附、解吸附的动态过程中所损耗的能量,然后从品质因数Q的定义出发,研究了吸附解吸附过程对纳机电谐振梁品质因数的影响。结果表明Q值随压强的增大而减小,且与梁的尺寸直接相关。
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