激光晶体炉上称重法自动直径控制(ADC)技术
Research on the Laser Crystal Growth Furnace's Up-weighing Method ADC Technique作者机构:西安理工大学晶体生长设备研究所西安710048 西安理工大学机械与精密仪器工程学院西安710048
出 版 物:《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)
年 卷 期:2005年第34卷第6期
页 面:1141-1145页
核心收录:
学科分类:07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
摘 要:自动直径控制(ADC)技术是直拉法晶体生长设备的一项动直径控制方法,并从理论上分析了上称重法自动直径控制(ADC)原理,着重介绍了在传统TDL-J50A及TDL-J60激光晶体炉上自主开发的上称重法自动直径控制系统的机械结构及控制系统.使用上称重法自动直径控制系统已成功地生长出φ51~76mmYAG晶体及φ51~76mm铌酸锂晶体,取得了良好的控制效果.