激光干涉仪非线性的测量
The Measurement for the Nonlinearity of Laser Interferometer作者机构：中国计量科学研究院北京100013
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：2003年第24卷第4期
页 面：271-274页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术]
主 题：计量学 拍频法布里-珀罗干涉仪 纳米测量 非线性测量
摘 要：激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5nm,为了对这样的非线性进行测量,必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里 珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于1.3μm,测量不确定度约为2nm。
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