用于光具座自动测量焦距的变焦光学系统设计
Design of zoom system for automatic focal length measurement on optical bench作者机构:西安应用光学研究所陕西西安710065
出 版 物:《应用光学》 (Journal of Applied Optics)
年 卷 期:2016年第37卷第3期
页 面:359-364页
核心收录:
学科分类:080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
摘 要:为了提高光具座自动测焦距时的测量精度,设计一套连续变焦光学系统。该系统包括自准直组件和变焦组件两部分,可以调节CCD靶面上接收到的图像大小,得到最佳测量结果。根据设计指标要求,在控制系统总长的基础上进行初始结构选择和像质优化。设计完成后的自准直组件焦距200mm,变焦组件焦距200mm^20mm,对接后的变焦系统可实现图像大小1×~10×连续调节。模拟实验表明:变焦系统像质良好,MTF曲线接近衍射极限,弥散斑小于CCD像元大小,可以满足实际检测需求。