多孔型阳极氧化铝膜的制备及微观分析

作     者：施云波 吕芳 冯侨华 王立权 SHI Yunbo;LV Fang;FENG Qiaohua;WANG Liquan

作者机构：哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站 哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院 哈尔滨理工大学应用科学学院 

出 版 物：《长春理工大学学报(自然科学版)》 (Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2010年第33卷第1期

页      面：85-88页

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60772019) 中国博士后科学基金面上资助项目(20080440839) 黑龙江省博士后资助项目(LBH-Z08231) 黑龙江省教育厅科学技术研究项目(11541047) 

主　　题：铝 阳极氧化 多孔型氧化铝 

摘      要：在硫酸电解液、草酸和磷酸电解液中,采用阳极氧化方法制备多孔型氧化铝膜。通过扫描电子显微镜对多孔型氧化铝膜进行形貌表征。根据试验得到:当0.3mol/L硫酸中,恒压25V阳极氧化1h可得到孔径约为40～60nm多孔氧化铝膜。在电解液为10.0g/L草酸与3.0ml/L磷酸混合液中,恒压140V二次阳极氧化可得到孔径为160～190nm多孔氧化铝膜。讨论了高温退火及磷酸处理对多孔氧化铝膜的影响,并进行了机理分析。