SU-8光刻胶玻璃化转变温度及力学性能的分子动力学模拟
Molecular Dynamics Simulation on the Mechanical Properties and Glass Transition Temperature of SU-8 Photoresist作者机构：大连理工大学教育部精密与特种加工重点实验室 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室辽宁大连116024
出 版 物：《高分子材料科学与工程》 (Polymer Materials Science & Engineering)
年 卷 期：2014年第30卷第4期
页 面：95-99页
核心收录：
学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术]
基 金：国家重点基础研究发展规划项目(2011CB302101 2011CB302105) 国家自然科学基金资助项目(51175056)
摘 要：基于COMPASS分子力场,经过分子聚合,能量最小化和退火模拟等构建SU-8光刻胶模型。利用分子动力学的研究方法,模拟研究了SU-8胶的玻璃化转变温度及其主要的影响因素;同时计算了在室温条件下交联SU-8胶的杨氏模量、泊松比、剪切模量、体积模量等力学性能。结果表明,模拟得到的玻璃化转变温度和力学性能与实验结果相一致;非键能是导致非交联SU-8胶玻璃化转变的主要因素之一。
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