光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法

作     者：穆海华 周云飞 周艳红 MU Haihua;ZHOU Yunfei;ZHOU Yanhong

作者机构：华中科技大学数字装备与技术国家重点实验室武汉430074 华中科技大学计算机科学与技术学院武汉430074 

出 版 物：《机械工程学报》 (Journal of Mechanical Engineering)

年 卷 期：2010年第46卷第7期

页      面：122-127页

核心收录：

学科分类：081203[工学-计算机应用技术] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 0835[工学-软件工程] 0701[理学-数学] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(50775088) 中国博士后科学基金(20080430971)资助项目 

主　　题：步进扫描运动 约束基准 轨迹规划 重叠 

摘      要：研究一种步进扫描投影光刻机的步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法。根据给定的系统动力学约束,以保证最大加速度与最大速度不超限为目标,建立步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的约束基准。依据该基准,分析步进运动与扫描运动轨迹重叠规划的各种可能情形,推导在最大程度上缩短运动执行时间的轨迹拐点调整计算公式。以此为基础,提出步进运动与扫描运动的轨迹重叠规划算法。通过仿真计算验证算法的正确性与有效性。实际应用证明该算法能在保证运动精度基础上,极大地提高生产率。该算法已被100 nm步进扫描投影光刻机工作台超精密运动控制系统所采用。