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集成硅压阻传感器的发展及运用

作     者：吕宏让 

作者机构：宝鸡有机化工厂动力科宝鸡市721001 

出 版 物：《化工自动化及仪表》 (Control and Instruments in Chemical Industry)

年 卷 期：1993年第20卷第5期

页      面：40-41页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

主　　题：敏感芯片 集成硅 压阻传感器 

摘      要：介绍了集成硅压阻传感器的特点、应用及发展。

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