扫描电镜中束径与束流关系的研究
出 版 物：《数据采集与处理》 (Journal of Data Acquisition and Processing)
年 卷 期：1989年第4卷第A10期
页 面：55-56页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：在扫描电子显微镜中,当被加速而获得能量的电子束入射到样品表面上,便会发生电子与物质间的相互作用产生各种信号。这些信号是二次电子、背散射电子、可见光、X射线、俄歇电子等。利用这些信号就可获得有关样品的各种信息。而入射电子的约90%的能量转化为热能。
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