基于电子散斑干涉技术的直线度误差测量方法
Method of measuring alignment error based on ESPI作者机构：燕山大学理学院河北秦皇岛066004
出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)
年 卷 期：2012年第33卷第3期
页 面：29-30页
核心收录：
学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：将散斑干涉与CCD图像处理技术相结合,提出了一种测量空间直线度误差的新方法,该方法利用待测工件的直线度误差使毛玻璃移动微小位移,通过散斑条纹的变化求出位移变动量。由导出的直线度误差与位移的关系,对工件的直线度误差进行了测量,测量结果为7.420μm。实验结果表明,此种方法测量精确度高,具有一定的使用价值。
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