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光栅尺动态测量仪

Dynamic Measurement of Grating Linear Scales

作     者：刘岩 龙科慧 王立朋 季思 

作者机构：中国科学院长春光学精密机械研究所长春130022 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：1993年第1卷第2期

页      面：14-19页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

主　　题：光栅尺 激光差外干涉 测量仪 

摘      要：阐述了利用激光差外干涉法,检查光栅尺准确度的原理,并介绍了根据这一原理而研制成的“光栅动态测量仪的特点。该仪器在2.2m范围内的测量准确度为±1.5μm并且在生产线上已经可靠地工作了三年。

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