高可靠性16×16 SOI热光开关阵列

作     者：李运涛 余金中 李智勇 陈少武 Li Yuntao;Yu Jinzhong;Li ZhiYang;Chen Shaowu

作者机构：中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2007年第28卷第Z1期

页      面：513-515页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:60336010 60577044) 国家重点基础研究发展规划(批准号:G2000-03-66 2006CB302803)和国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA312060)资助项目 

主　　题：热光开关阵列 控制和驱动电路 可靠性 

摘      要：在分析加热器对热光开关阵列可靠性影响的基础上,提出了一种新的热光开关阵列控制和驱动电路.分析表明,在假设加热器失效率为5%的情况下,新控制和驱动电路可以使16×16 SOI热光开关阵列的可靠性从34.99%提高到92.30%.同时,采用引入控制信号预处理模式,使封装后的热光开关阵列控制端口数从34个减少到10个.在采用新的控制和驱动电路基础上,研制出高可靠性的16X16 SOI热光开关阵列.