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AZ31镁合金磁控溅射硅膜层的耐蚀性和生物相容性

Corrosion resistance and biocompatibility of silicon film deposited on AZ31 magnesium alloy by magnetron sputtering

作     者:张精豪 侯树森 李文星 张梦婷 张世坤 ZHANG Jinghao;HOU Shusen;LI Wenxing;ZHANG Mengting;ZHANG Shikun

作者机构:河南科技学院机电学院河南新乡453003 新乡学院机电工程学院河南新乡453003 河南科技学院动物科技学院河南新乡453003 

出 版 物:《电镀与涂饰》 (Electroplating & Finishing)

年 卷 期:2025年第44卷第2期

页      面:58-63页

学科分类:081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 

主  题:镁合金 磁控溅射 硅薄膜 耐蚀性 生物相容性 

摘      要:[目的]镁合金化学性质活泼,在作为医用可降解植入材料使用时,需通过适当的表面处理来提升其耐腐蚀性和生物相容性,以满足临床应用需求。[方法]在AZ31镁合金表面磁控溅射Si薄膜,通过正交试验对工艺参数进行优化。通过表面形貌和元素组成分析、电化学测试、模拟体液浸泡腐蚀、细胞毒性试验研究了较优工艺条件下所得Si薄膜的微观结构、耐蚀性和生物相容性。[结果]在压强为0.55 Pa、功率为200 W的条件下磁控溅射3 h所得Si薄膜表面均匀致密。Si薄膜能够有效地保护镁合金,并且具有较好的生物相容性。[结论]AZ31镁合金表面磁控溅射Si薄膜可提高其耐蚀性和生物相容性。

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