面向精密实验的飞秒激光精密加工技术研究进展

作     者：何煦 马云灿 马骁 曹柱荣 喻寅 银颖 李晶 杨靖 孟立民 李军 陶天炯 杨昊 蒋均 He Xu;Ma Yuncan;Ma Xiao;Cao Zhurong;Yu Yin;Yin Ying;Li Jing;Yang Jing;Meng Limin;Li Jun;Tao Tianjiong;Yang Hao;Jiang Jun

作者机构：中国工程物理研究院流体物理研究所四川绵阳621900 中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900 中国工程物理研究院化工材料研究所四川绵阳621900 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2025年第37卷第1期

页      面：134-146页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：中国工程物理研究院发展项目(TCGH0323、TCGH0610、TCGH0105) 中国工程物理研究院流体物理研究所横向项目(20-163-02-ZT-004-005-01) 冲击波物理与爆轰物理全国重点实验室基金项目(2021JCJQLB05707、2022JCJQLB05707) 

主　　题：飞秒激光 精密加工 金属材料 炸药材料 超硬材料 

摘      要：飞秒激光精密加工技术具备极短脉冲宽度避免或缓解热效应、极高峰值功率密度适用于任意固体材料、极小焦斑尺寸实现微区精准去除或改性等三个方面的特性,满足精密诊断/测量实验涉及的各类难加工及特种材料的安全精密加工需求。高稳定性高重复频率飞秒激光器的应用,弥补了低重复频率飞秒激光难以实现高速扫描的不足,这为精密实验所需各类精密样品/样件的高效精密加工提供了重要能量源。以中国工程物理研究院各研究所精密实验对精密样品的安全高效精密加工需求为切入点,分别以激光X射线精密靶材及结构、炸药材料微结构、超硬材料复合折射透镜结构、微型探头光纤精密固定结构、太赫兹滤波器核心结构等典型应用场景为例,介绍了高重频飞秒激光精密加工技术在难加工材料和特种材料安全高效精密加工方面的研究进展。