新型微机电系统的光纤传感器设计及应用
New MEMS optical fiber sensor design and application作者机构：江西科技学院南昌330098 延安大学物理与电子信息学院陕西延安716000
出 版 物：《光通信技术》 (Optical Communication Technology)
年 卷 期：2016年第40卷第6期
页 面：47-49页
学科分类：0711[理学-系统科学] 07[理学] 08[工学] 070105[理学-运筹学与控制论] 081101[工学-控制理论与控制工程] 071101[理学-系统理论] 0811[工学-控制科学与工程] 0701[理学-数学]
基 金：国家自然科学基金(61379026)资助 陕西省科学技术研究发展计划项目(工业攻关)(2014K05-61)资助 陕西省教育厅2011年科学研究项目计划(11JK0915)资助 陕西省高水平大学建设专项资金资助项目(物理学2012SXTS05)资助 延安大学大学物理实验精品课程(YDJPKC11-21)资助
摘 要：设计了一种新型的微腔加速度光纤传感器,采用了Si基底上设计一圆柱形MIM波导的结构,通过检测光纤单直波导输出端口处波长的漂移量,实现对加速度的检测。理论计算和仿真结果验证得到:在加速度每增加10g的情况下,输出光谱图约向右漂移3nm,加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系;微纳光纤传感器的灵敏度较高,能够实现较好的加速度传感器。
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