飞秒激光制备双材料微型致动器的方法研究
作者机构：中国科学技术大学工程科学学院 安徽大学信息材料与智能感知安徽省实验室 山东省科学院激光研究所
出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)
年 卷 期：2025年
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
基 金：国家自然科学基金(62205236) 山东省自然基金(ZR2024QF113)
主 题：飞秒激光 温敏水凝胶 复合加工 微型致动器 微阀 微粒捕获
摘 要：微型致动器在许多领域具有广阔的应用场景，然而微纳米尺度下的致动器大多数只能由单材料组成，为适应复杂多变的环境，双材料或多材料致动器的需求不断扩大。本文基于飞秒激光分步加工的方式，提出一种将温敏水凝胶和光刻胶耦合到同一微型器件的方法。温敏水凝胶可响应外部环境刺激变形，光刻胶具有良好的力学性能，复合两种材料的微型器件可编程变形，同时有着优异的机械性能，可以通过改变温度控制致动器执行指定的任务。作为验证，成功制备了微型阀门和仿生贝壳两种双材料微型致动器，为微流控和微粒捕获领域的应用提供了新的思路和解决方案。
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