利用等效层的消偏振宽带减反膜设计

作     者：马小凤 王丹 刘定权 陈刚 张凤山 Ma Xiaofeng;Wang Dan;Liu Dingquan;Chen Gang;Zhang Fengshan

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料研究室上海200083 中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜研发中心上海201800 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2007年第27卷第3期

页      面：563-566页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

主　　题：光学薄膜 消偏振 等效层 减反膜 

摘      要：分析了倾斜入射条件下导致光学薄膜产生偏振的原因,针对不同偏振态的等效导纳与等效相位进行了分析,并计算了对称膜层在45°入射条件下不同偏振态的等效折射率与等效相位厚度,采用等效层方法设计了光学性能良好的600～900 nm波段消偏振宽带减反膜。最后利用电子束蒸发技术制备了薄膜样品,样品的光谱性能完全能够满足使用要求。其中在600～900 nm波段范围内,平均反射率均小于1．38%,反射率的偏振度均低于0．89%。另外,通过对其理论及实验光学性能、角度敏感性、膜层厚度误差敏感性等方面的分析结果可知,对称膜层组合法是设计消除倾斜入射下宽带减反膜偏振效应的一种行之有效的方法。