高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器

作     者：乔靖评 焦斌斌 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 Qiao Jingping;Jiao Binbin;Liu Ruiwen;Kong Yanmei;Yun Shichang;Zhao Chengyuan;Liu Xin;Ye Yuxin;Du Xiangbin;Yu Lihang;Jia Shiqi;Wang Zilong;Li Sibo

作者机构：中国科学院微电子研究所新技术开发部微系统技术实验室北京100029 中国科学院大学集成电路学院北京101408 郑州中科集成电路与系统应用研究院郑州450001 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2024年第61卷第12期

页      面：81-89页

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程] 

基　　金：国家重点研发计划(2022YFB3205803) 

主　　题：微电子机械系统(MEMS),皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程 

摘      要：真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。