电子出射波重构的基本原理和应用

作     者：王荣明 WANG Rong-ming

作者机构：北京航空航天大学理学院物理研究所 

出 版 物：《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期：2006年第25卷第1期

页      面：9-14页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：Berkeley Scholar Program 

主　　题：透射电子显微镜 出射波重构 衬度传递函数 亚埃级电子显微学 定量电子显微学 

摘      要：随着场发射枪透射电子显微镜的普及,电镜的信息分辨极限和点分辨率成为表征电镜分辨本领的两个重要指标。由于电镜衬度传递函数的振荡特性,用场发射透射电镜拍摄的高分辨像在其点分辨率和信息分辨极限之间的信息很难解释。电子出射波重构就是通过拍摄系列欠焦高分辨像,计算获得电子离开样品表面的出射波函数,将电镜的分辨本领由点分辨率延伸到其信息分辨极限,并消除球差、欠焦、像散等影响,有望在中等电压电镜上获得近埃、乃至亚埃级可直接解释的高分辨像,实现C、N、O等轻元素单原子列探测,为今后定量电子显微学研究奠定基础。