基于高温超导单晶材料的大尺寸约瑟夫森本征结制备工艺研究
FABRICATION OF LARGE SIZE JOSEPHSON INTRINSIC JUNCTIONS BASED ON THE HIGH TEMPERATURE SUPERCONDUCTING SINGLE CRYSTAL MATERIAL作者机构：南京大学超导电子学研究所
出 版 物：《低温物理学报》 (Low Temperature Physical Letters)
年 卷 期：2012年第34卷第5期
页 面：327-332页
核心收录：
学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金项目(11173015) 教育部博士点基金项目(20090091110039)资助的课题~~
主 题：Bi2Sr2CaCu2O8+x 高温超导单晶 本征结 太赫兹 扫描电子显微镜
摘 要：基于高温超导单晶材料Bi2Sr2CaCu2O8+x(BSCCO)的约瑟夫森(Josephson)本征结器件制备工艺,成功制备出形貌整齐、特性良好、一致性高的大尺寸太赫兹辐射源本征结器件.从工艺的各个步骤出发,总结了要点,并对原有工艺做出改进.通过扫描电子显微镜观察刻蚀形貌,总结了光刻最佳后烘温度条件,提出了一套重复性好、成功率高的工艺方法.
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