NOA73材料的曲面微透镜阵列的制作

作     者：李向红 刘俊 张斌珍 唐军 

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2013年第24卷第2期

页      面：292-296页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家重点基础研究发展"973"计划(2012CB723401)资助项目 

主　　题：NOA73 曲面微透镜阵列 光刻胶熔融法 PDMS 光学特性 

摘      要：为了实现生物复眼的光学性能,介绍了一种仿生物复眼结构通过使用光刻胶熔融法和NOA73(norland optical adhesive)紫外曝光固化技术。首先采用光刻胶熔融法将一系列具有不同曲率、宽度的平面微凸透镜制作在Si基底上,且微透镜阵列具有统一的聚焦特性和光滑度;通过比较NOA73、PDMS两种平面微透镜阵列的聚焦效果,得到NOA73材料具有更好的光学性能;然后利用PDMS的柔韧特性和NOA73紫外曝光固化的特性制作出曲面微凸透镜阵列;最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,结果表明,通过上述工艺制作的曲面微凸透镜阵列,最后对曲面微透镜阵列进行成像测试、光强分布测试,可知通知这种工艺制作的曲面微透镜阵列的尺寸达到微米,光学性能优秀,透光率基本达到100%,具有很好的重复性,可行性且制作简单、快速和低成本,并能模仿复眼结构的部分光学特性。