基于碳纳米管-金属肖特基接触的气体低压传感技术

作     者：黄春田 叶妮妮 邵和助 方朝龙 董长昆 HUANG Chuntian;YE Nini;SHAO Hezhu;FANG Chaolong;DONG Changkun

作者机构：温州大学温州市微纳光电器件重点实验室浙江温州325035 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：2024年第30卷第6期

页      面：623-628页

学科分类：08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金(62374118) 国家重点研发计划(2023YFF0723700) 

主　　题：碳纳米管 肖特基势垒 气体传感 功函数 

摘      要：碳纳米管(CNT)具有独特的结构和优异的物理性能,在气体吸附的条件下,CNT-金属接触结构的电学性能会发生变化,这种变化可用于气体传感领域。采用Lift-off工艺和介电电泳沉积法(DEP)制备了基于CNT-金属肖特基结的CNT场效应管(CNT-FET)和CNT/Au电阻传感器,并在10−7~10−5 Pa的低压力环境下进行了氢气和氮气传感测试。CNT-FET和CNT/Au电阻传感器对氢气具有相似的传感效应,在测试压力区间内电流分别增长0.05μA和0.14μA。研制成果探索了低压气体传感的新途径。