用于微区阻抗测量的STM探针的制备

作     者：吴迪 丁喜冬 杨森 张进修 WU Di;DING Xi-dong;YANG Sen;ZHANG Jin-xiu

作者机构：中山大学物理学系广东广州510275 

出 版 物：《中山大学学报（自然科学版）》 (Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni)

年 卷 期：2005年第44卷第A2期

页      面：170-173页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：广东省纳米重大专项基金资助项目(01-09080-4202372) 广州市科技攻关资助项目(2003Z2-D2021) 

主　　题：电化学腐蚀 扫描阻抗显微镜(SIM) 探针 扫描隧道显微镜(STM) 

摘      要：基于扫描隧道显微镜（scanning tunneling micmscope，STM）的新型扫描阻抗显微镜（scarming impedance microscope，SIM）可以对绝缘电介质表而的阻抗性质进行测量，但由于传统STM针尖不适用于这种模式，需要制备新型的探针。介绍了利用电化学腐蚀法制备SIM针尖的工艺，研究了制备过程中各种条件的控制对针尖质量的影响。根据实验结果，对切断时问的控制效果提出了与以往经验不同的看法。最后通过实验分析了适用于阻抗性质扫描的针尖特点，认为适用于阻抗扫描的针尖其曲率半径应在100～200nm之间，且具有小的纵横比和一级新月结构。