荫罩式平板探测器的探测性能与优化

作     者：张盼盼 屠彦 杨兰兰 

作者机构：东南大学电子科学与工程学院显示中心南京210096 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2013年第33卷第9期

页      面：898-902页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0806[工学-冶金工程] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金(61271053 60871015 50907009) 

主　　题：荫罩式平板探测器 增益 结构优化 仿真 

摘      要：荫罩式平板探测器是在等离子体显示器的基础上发展的一种新型气体探测器。该探测器可以继承等离子体的制作工艺,具有结构简单,制造成本低,易于实现大面积探测等优点。本文主要通过模拟荫罩式平板探测器内的电子倍增过程,研究了这种气体探测器的探测性能。从荫罩结构、电极宽度和荫罩高度入手,对探测器的结构进行优化。结果表明:将荫罩拓展到介质层对增益影响不大,适度调整荫罩高度,减少阴极宽度是改善平板探测器的探测特性的有效途径。在单元采用直孔荫罩结构,阴极宽度为120μm,单元宽600μm,荫罩高300μm时,阳极施加600 V电压,有效增益和实际增益分别为60和342。