正入射Mo/B_4C软X射线多层膜
NormalIncidence Mo/B4C Soft X-Ray Multilayer作者机构：中国科学院长春光学精密机械研究所
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：1998年第18卷第1期
页 面：109-111页
核心收录：
学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金 国家科委863高科技资助
摘 要：采用Ｍｏ／Ｂ４Ｃ材料在短波长波段（λ１０．０ｎｍ）进行软Ｘ射线多层膜实验研究。在指定波长（８．０ｎｍ附近）处对多层膜进行结构设计，并制备出了周期结构准确的Ｍｏ／Ｂ４Ｃ多层膜样品。
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