100keV金属表面改性离子注入与混合两用机
A 100 keV ion implantation and mixing machine for metal surface modification作者机构：中国科学院高能物理研究所
出 版 物：《核技术》 (Nuclear Techniques)
年 卷 期：1994年第17卷第1期
页 面：37-41页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：叙述了１００ｋｅＶ金属表面改性离子注入与混合两用机的总体结构及各主要部件的技术参数．该机经过调试各项主要指标已达到设计要求．工作稳定可靠，已开始金属材料表面改性实验。
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