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掺B过渡金属Cu、Ni的溅射研究

Effect of dopant boron on sputtering yields of nickel and copper

作     者:章骥平 王震遐 陶振兰 潘冀生 王承宝 林祯昌 

作者机构:中国科学院上海原子核研究所上海201800 上海合金厂上海201800 

出 版 物:《核技术》 (Nuclear Techniques)

年 卷 期:1992年第15卷第12期

页      面:717-720页

核心收录:

学科分类:080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 

基  金:国家自然科学基金 

主  题:溅射 掺杂 结合能 过渡元素  

摘      要:通过对Cu、Ni两种过渡金属掺入少量B(1wt%)后溅射产额减少程度的比较,从电子结构上分析了杂质B的作用。比较Painter等对Ni掺B后结合能变化的计算,定性而言,实验结果与其相符;定量上,实验数据显得大一点。这可能与溅射过程中晶界的韧化作用等因素有关。

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