阴极弧离子镀AlCrN涂层原子力显微镜分析

作     者：付贵忠 孔德军 张垒 叶存冬 Fu Guizhong;Kong Dejun;Zhang Lei;Ye Cundong

作者机构：常州大学机械工程学院常州213016 江苏省大型重载齿轮传动工程技术研究中心常州213012 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2014年第34卷第5期

页      面：477-482页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0823[工学-交通运输工程] 

基　　金：江苏省科技支撑计划(工业)(No.BE2012066) 江苏省科技基础设施建设计划项目(BM2012337) 

主　　题：TiC基金属陶瓷刀具 AlCrN涂层 原子力显微镜 三维表面微观形貌 功率谱密度 

摘      要：利用阴极离子镀法在TiC基金属陶瓷刀具上制备了AlCrN涂层,通过扫描电镜观察了表面形貌,并用原子力显微镜分析了三维表面微观形貌,获得表面粗糙度相关评定参数,同时对高度、层次、粒度、功率谱密度等进行了分析。结果表明,表面粗糙度均方根偏差TiC基体为85.8 nm,AlCrN涂层为175 nm,AlCrN涂层与TiC基体表面相对平整,阴极离子镀对表面粗糙度影响较小;AlCrN涂层表面高度值相对分散,支承系数大;AlCrN涂层平均颗粒直径1432 nm,而TiC基体为1460 nm,根据Hall-Petch关系,AlCrN涂层的显微硬度远远高于TiC基体的显微硬度;AlCrN涂层和TiC基体功率谱分布无规律,材料表面均表现为各向异性。