标准激光光源近场空域测量精度研究
Study on Spatial Measurement Accuracy of Standard Laser Source Near-Field Parameters作者机构:中国科学院西安光学精密机械研究所陕西西安710119 中国科学院大学北京100049
出 版 物:《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)
年 卷 期:2014年第41卷第3期
页 面:162-168页
核心收录:
学科分类:0808[工学-电气工程] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
摘 要:为了研究标准激光光源近场空域测量精度,在理论方面建立了标准激光光源近场强度分布的理论模型,在实验方面提出了科学级CCD面响应非均匀性校正方案和激光近场计算算法。利用非均匀性校正后的科学级CCD和二维扫描装置,在1053nm标准激光光源软边光阑50mm×50mm口径内S形扫描,通过子孔径拼接得到标准激光光源近场图像。近场分布测试结果与理论值一致,差异主要是因为离轴抛物面镜表面粗糙度与科学级CCD随机噪声产生了高频分量。对近场参数测试结果进行分析,调制度扩展不确定度为0.08(k=2),对比度扩展不确定度为0.01(k=2)。研究结果提高了国家大科学工程激光参数测量系统近场空域测试置信度。