镍内电极Y5V特性MLCC烧结工艺研究
Research on Sintering Process of Y5V Characteristics MLCCs with Ni Internal Electrode作者机构:广东风华高新科技股份有限公司广东肇庆526020
出 版 物:《电子工艺技术》 (Electronics Process Technology)
年 卷 期:2014年第35卷第5期
页 面:292-293,310页
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学]
基 金:国家国际科技合作项目(项目编号:2010DFB33920)
主 题:镍内电极 Y5V 多层陶瓷电容器(MLCC) 烧结工艺 烧结温度 烧结气氛
摘 要:制备了镍内电极Y5V特性多层陶瓷电容器(MLCC),采用SEM、DPA等分析手段研究了烧结工艺对样品电性能和可靠性的影响,结果发现,合适的烧结温度可以使陶瓷晶粒生长充分均匀,使陶瓷体致密度高。合适的烧结气氛可以减小样品在烧结时的内部应力,从而防止内部缺陷的发生。烧结温度和烧结气氛的合理匹配,可以使样品的电性能和可靠性达到最优。