用于TCO生产的nAERO工艺
出 版 物：《建筑玻璃与工业玻璃》 (Architectural Glass and Functional Glass)
年 卷 期：2012年第32卷第5期
页 面：20-23页
学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术]
主 题：TCO 光伏玻璃 Low—E玻璃 离线工艺 在线工艺
摘 要：针对光伏应用和节能玻璃的高产能TCO生产需要对镀膜沉积工艺的深入理解。沉积温度，前驱体浓度和添加剂尤其是水蒸汽的作用，极大的影响掺氟氧化锡薄膜的成长率和薄膜特性。我们对nAERO技术针对这些变量的敏感性进行了研究。实验的基底温度范围为510~600℃，一丁基三氯锡的浓度为0．4～1．8mol-％，水的浓度为0．2~16mol-％，薄膜特性为薄膜厚度，晶体结构和透光率。结果显示在典型的工业化工艺变量和沉积速率超过100nm／s的情况下，nAERO技术可以生产出均匀的TCO薄膜。
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