应用在线电解修整磨削和磁流变光整加工组合工艺进行碳化硅的纳米加工

作     者：尹韶辉 陈逢军 盛晓敏 大森整 林伟民 上原嘉宏 Yin Shaohui;Chen Fengjun;Sheng Xiaomin;Ohmori Hitoshi;Lin Weimin;Uehara Yoshihiro

作者机构：湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心长沙410082 日本理化学研究所 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2007年第18卷第21期

页      面：2547-2550,2560页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

主　　题：化学气相沉积碳化硅 在线电解修整镜面磨削 磁流变光整加工 超精密加工 形状精度 表面粗糙度 

摘      要：利用在线电解修整镜面磨削和磁流变光整加工技术对化学气相沉积碳化硅反射镜进行纳米级精度的加工。首先进行在线电解修整磨削,使反射镜面高效率加工成形,并获得较好的形状精度和表面质量;然后利用磁流变技术进行光整加工,以减少反射镜的亚表面损伤,提高表面质量,并通过修正加工,显著提高了工件表面的形状精度。对化学气相沉积碳化硅进行了一系列的加工试验,高效率地得到Rq=2.4nm(均方根偏差)的表面粗糙度和21.2nm的形状精度,并且对在线电解修整镜面磨削与磁流变光整加工所生成的表面特性进行了分析比较。