多功能抗激光损伤高反射膜

作     者：赵缨慰 付秀华 李珊 宫大为 ZHAO Ying-wei;FU Xiu-hua;LI Shan;GONG Da-wei

作者机构：长春理工大学吉林长春130022 

出 版 物：《中国光学与应用光学》 (Chinese Optics and Applied Optics Abstracts)

年 卷 期：2010年第3卷第3期

页      面：274-278页

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

主　　题：光学薄膜 高反射膜 激光损伤 消偏振 

摘      要：为了能同时满足半导体激光器和YAG激光器对薄膜的特殊要求,在分析高反射膜理论的基础上,选取TiO_2和SiO_2为高、低折射率材料镀制了周期性多层介质高反射膜。研究了材料的光学及机械特性,重点解决了薄膜的消偏振和抗激光损伤问题。实验采用电子束真空镀膜并加以考夫曼离子源辅助沉积,利用TFC软件进行膜系设计,通过调整镀膜工艺参数和监控方法,在10 mm×1.8 mm的K9基底上镀制了符合要求的高反射膜,结果表明,当激光以45°入射时,薄膜在900～1 100 nm的p光与s光的反射率均大于99.95%。所制备的高反射膜性能稳定,抗激光损伤阈值高,能同时满足两种激光器的使用要求。