测量线性工作台滚转角误差的多探头法
A Multi-Probe Method for Roll Error Measurement of Linear Stage作者机构：天津大学机械工程学院天津300072
出 版 物：《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University(Science and Technology))
年 卷 期：2012年第45卷第2期
页 面：122-127页
核心收录：
学科分类：08[工学] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
基 金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA042406) 国家科技重大专项资助项目(2009ZX04001-041)
摘 要：针对线性工作台运动过程中的滚转角误差,提出一种多探头测量方法.与传统的用2个位移传感器和1个具有高平面度的感应物测量滚转角误差的方法相比,所提出的方法利用4个位移传感器,无需高平面度的感应物,更容易实现测量.分析了各项几何误差对传感器读数的影响,利用顺序两点法采集传感器信号.根据传感器融合技术,得到滚转角误差的差分表达式;对测量系统进行了灵敏度和仿真分析.仿真和实验结果表明了该测量方法的可行性.
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