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三正丁基膦稳定的铜(Ⅰ)β-二酮配合物的合成、表征以及作为前驱物用化学汽相沉积法生长铜膜(英文)

Synthesis of Tri-n-butylphosphine Copper(Ⅰ) a-Diketonates and Their Use in Chemical Vapour Deposition of Copper

作     者:沈应中 Marion Leschke Stefan E. Schulz Ramona Ecke Thomas Gessner Heinrich Lang 

作者机构:Technische Universitt Chemnitz Fakultat für Naturwissen-schaften Institut für Chemie Lehrstuhl Anorganische Chemie Straae der Nationen 62 09111 Chemnitz Germany Technische Universitat Chemnitz Fakultat fü Elektrotechnik und Informationstechnik Zentrum fü Mikrotechnologien Reichenhainer Straae 70 09126 Chemnitz Germany 

出 版 物:《无机化学学报》 (Chinese Journal of Inorganic Chemistry)

年 卷 期:2004年第20卷第11期

页      面:1257-1264页

核心收录:

学科分类:081704[工学-应用化学] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学] 070301[理学-无机化学] 

主  题:三正丁基膦 铜配合物 β-二酮 合成 前驱物 化学汽相沉积法 铜膜 热分析 扫描电镜 ×-射线能量散射 

摘      要:合成了一系列三正丁基膦辅助配体稳定的铜髣β鄄二酮配合物,对合成的配合物用元素分析、红外、核磁共振以及热重和差热等手段进行了表征。筛选出性能优良的配合物为前驱物用化学汽相沉积(CVD)的方法生长出金属铜膜,用SEM和EDX等手段对生长的铜膜进行了表征。

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