微细光束固化的蒙特卡罗建模

作     者：王翔 裴香涛 邵鹏 黄文浩 Wang Xiang;Pei Xiangtao;Shao Peng;Huang Wenhao

作者机构：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系安徽合肥230026 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2008年第28卷第12期

页      面：2388-2393页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家863计划(2006AA04Z311)资助课题 

主　　题：微细加工 光固化 蒙特卡罗法 遗传算法 光子输运 

摘      要：光固化是光束与光敏树脂之间的光化学反应,其作用过程对光固化加工分辨率有着直接影响。基于光子输运理论,利用蒙特卡罗方法追踪光子在树脂中的运动轨迹,对曝光光束入射、传输过程进行抽样,建立了微细光束固化模型;利用遗传算法并结合光固化实验重构获得了树脂材料的光学参数;利用该固化模型,模拟计算了微细会聚紫外光束(λ=365nm)单点曝光固化过程和固化单元点的形状和大小,分析了不同曝光量对固化结果的影响规律,计算结果与实验结果一致。研究表明,该模型可以有效地对微细光束与光敏树脂作用的复杂过程进行仿真,并能对不同入射光和曝光工艺条件下的固化物进行模拟计算,为微细光固化机理的研究和工艺优化提供了基础。