先进计量应对新材料和制程复杂度的挑战
Advanced Metrology Tackles New Materials, Process Complexity作者机构：Semiconductor International
出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)
年 卷 期：2007年第24卷第1期
页 面：40-44页
学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要：45nm节点以下的计量要求将变得非常复杂,需要在集成计量与瑞士军刀式的全能平台之间取得平衡。
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