CIM技术实用化
作者机构：中国华晶电子集团公司MOS总厂无锡214061
出 版 物：《微电子技术》 (Microelectronic Technology)
年 卷 期：1998年第26卷第1期
页 面：46-51页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：CIM PROMIS Dynamic control chart DCOP
摘 要：本文论述了在大规模集成电路生产中引进先进的计算机网络系统的优势及必然性，并介绍了如何根据自身条件优化系统，使之满足现有生产。
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