磁控溅射Co/AZO纳米复合薄膜的结构及光学性能

作     者：赵志明 张晓静 马二云 白力静 张国君 游才印 蒋百灵 

作者机构：西安理工大学陕西西安710048 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2014年第43卷第1期

页      面：145-149页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 0806[工学-冶金工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：陕西省自然科学基金(2010JQ6008) 陕西省科学研究计划(21080209JK608) 陕西省重点学科建设专项资金资助项目 

主　　题：Co AZO纳米复合薄膜 微观结构 光学性能 交替沉积 磁控溅射 

摘      要：利用对靶磁控溅射交替沉积技术在不同Co靶电流下沉积Co/AZO纳米复合薄膜,并对其进行真空退火。研究了Co靶电流对薄膜的结构及光学性能的影响。结果表明,沉积态薄膜晶化程度随Co靶电流增加而降低,未发现Co的相关衍射峰;真空退火后,薄膜结晶性明显改善,0.3 A薄膜中出现了Co纳米颗粒,当Co靶电流增大到0.5 A时还发现了CoO纳米颗粒。UV-Vis光谱显示薄膜透过率随Co靶电流增加而降低,退火后透过率明显提高;光谱中还出现了高自旋态Co2+(d7)电子跃迁的3个特征吸收峰,0.2 A薄膜中尤其显著。