表面等离子共振金/钯复合膜氢敏传感器
Surface plasmon resonance hydrogen sensor by using a Au-Pd thin film transducing layer作者机构:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027
出 版 物:《光学技术》 (Optical Technique)
年 卷 期:2004年第30卷第6期
页 面:643-645,651页
核心收录:
学科分类:08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)]
摘 要:提出了一种新颖的钯(Pd)/金(Au)复合膜表面等离子共振氢敏结构,与单一Pd膜氢敏传感器相比,具有可靠性好、灵敏度高和响应度大等特点。利用表面等离子共振理论建立了Au/Pd复合膜氢敏传感器的数学模型,并对Au/Pd复合膜氢敏传感器的灵敏度进行了数值模拟。数值模拟结果表明:基于Au(2nm)/Pd(20nm)复合膜氢敏传感器所获得的最佳灵敏度比单一Pd(20nm)膜氢敏传感器提高了49 4%。