深紫外二维光子晶体偏振器
作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所高端光电装备部 中国科学院大学材料与光电研究中心 张江实验室
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：2024年第19期
页 面：304-313页
核心收录：
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
摘 要：针对浸没式光刻机偏振照明系统中高透射率和高消光比的偏振器件需求，提出一种低损耗的深紫外光子晶体偏振器。基于光子带隙和自准直效应实现TM和TE偏振模式的分离以及TE偏振的高透射率传播，通过引入倾斜界面实现偏振分束。使用平面波展开法和时域有限差分法分别对等频率图和传播稳态进行仿真，结果表明该偏振器在193 nm波长下TE偏振透射率达到99%左右，偏振消光比达65 dB以上。引入倾斜界面后该偏振器在-5°～15°的入射光角度范围内实现了透射率超过95%的自准直传输和约120°的偏振分束角。
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