铜基微同轴技术及其在毫米波太赫兹领域的应用

作     者：史光华 郭诚 王真 温潇竹 徐达 张安学 SHI Guanghua;GUO Cheng;WANG Zhen;WEN Xiaozhu;XU Da;ZHANG Anxue

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 西安交通大学西安7100492 

出 版 物：《空间电子技术》 (Space Electronic Technology)

年 卷 期：2024年第21卷第5期

页      面：30-39页

学科分类：08[工学] 0825[工学-航空宇航科学与技术] 

基　　金：国家重点研发计划项目(编号:2022YFF0709200) 

主　　题：铜基微同轴 射频MEMS 毫米波 太赫兹 

摘      要：近年来国内铜基微同轴技术在毫米波和太赫兹器件应用领域取得了显著进展。首先,论文综述了铜基微同轴的标准加工工艺,并介绍了基于该工艺成功设计的覆盖DC-1THz频段的多种传输线结构,包括矩形同轴、矩形波导、脊波导等常见射频传输线。其次,基于微同轴技术的大量有源和无源器件的设计,如滤波器、天线、宽带定向耦合器、射频GSG探针、放大器和倍频器等,这些器件的频率范围覆盖10 MHz至330 GHz,均基于微同轴工艺的特点进行了特殊设计,充分利用了该工艺的固有优势。最后,这些成果展示了国内铜基微同轴技术在射频器件模组领域的蓬勃发展,凸显出我国在铜基微同轴射频器件设计和加工技术方面的日益成熟。这些实践应用进一步证明了铜基微同轴技术在微波特性和小型化方面的卓越优势。因此,采用铜基微同轴技术的射频器件在毫米波和太赫兹领域展现出巨大的应用潜力和广阔的发展前景。