反射式增量光栅尺位移测量系统研究
作者机构：桂林电子科技大学南宁研究院
出 版 物：《动力学与控制学报》 (Journal of Dynamics and Control)
年 卷 期：2024年
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：国家自然科学基金资助项目(62205076) 国家重点研发计划项目(2022YFF0605502)
摘 要：针对集成电路设备工业生产中高精度加工和定位的需求,研究了利用反射光栅的增量式光栅尺测量系统.根据高精度平面光栅尺测量原理,建立了反射式光栅尺位移测量系统.利用读数头光束与光栅平面的几何关系,建立光斑位移与位移平台的位置关系,实现了将光栅反射的光信号转化为位移平台的位置信息.设计了光栅反射信号处理的位移测量实验平台,开展了反射式增量光栅尺测量系统原理验证实验、测量一致性实验和测量稳定性实验.实验结果表明:光栅尺位移测量系统原理正确;光栅尺测量系统测量精度达到±2μm/cm,能够满足集成电路设备工业生产中高精度加工和定位的需求.
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