电子轰击型有源像素传感器（EBAPS）研究进展
作者机构：昆明物理研究所
出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)
年 卷 期：2024年第10期
页 面：1120-1129页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：电子轰击型有源像素传感器（electron bombarded active pixel sensor, EBAPS）是一种电子轰击型的数字化微光器件，低功耗、高灵敏度、适用于极低照度探测。本文从EBAPS原理出发，以传感器阴极、阳极内部结构为着手点，阐述EBAPS从光信号输入到数字图像输出的工作过程，分析EBAPS光学系统的结构特点，结合Intevac公司系列EBAPS产品综述EBAPS的发展迭代与应用。最后，总结影响EBAPS传感器性能的各方面因素并展望器件的发展趋势。
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