用于VOCs气体探测的制冷型红外探测器
作者机构：浙江珏芯微电子有限公司
出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)
年 卷 期：2024年第10期
页 面：1178-1185页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：随着红外技术的发展，制冷红外探测器在气体探测领域发挥出重要作用。介绍了国内外关于制冷红外气体探测器的研究情况，并详细阐述了近期浙江珏芯微电子有限公司在挥发性有机物（volatile organic compounds,VOCs）气体探测器方向上的研究进展。通过窄带低温滤光片设计、杂散辐射抑制及探测器组件工艺等方面的关键技术研究，实现了制冷红外气体探测器的制备，在此基础上对探测器进行了系统性的性能评价与分析，展示了实际成像效果。
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