基于白光干涉技术的表面微观形貌测量方法
Surface Microtopography Measurement Based on White-light Interferometry作者机构：中国航空制造技术研究院
出 版 物：《计量与测试技术》 (Metrology & Measurement Technique)
年 卷 期：2024年第51卷第9期
页 面：109-111,114页
学科分类：08[工学] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）]
主 题：白光干涉技术 非接触测量 表面三维微观形貌 数据处理 参数评定
摘 要：本文从测量原理和技术特性的角度出发,分析了扫描显微镜法、光学干涉法、激光散射法和共焦显微法等非接触测量方法的适用范围。同时,根据白光干涉法的干涉特性和工作原理,研究了其常用的信号处理算法、数据处理和参数评定过程,并对表面三维微观形貌、表面粗糙度、划痕深度进行测量与评价。实验证明:该方法在表面三维微观形貌精确测量中具有显著优势,且精度较高,可为其质量评定提供技术支撑。
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