VO2-SiO2复合薄膜的激光诱导损伤特性研究

作     者：韩笋 李艳 

作者机构：中国矿业大学材料与物理学院 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2024年第10期

页      面：1738-1744页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 080501[工学-材料物理与化学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国矿业大学教改项目(2023ZDKT05-210) 

主　　题：VO2 SiO2 溶胶-凝胶法 光学透过率 激光诱导损伤阈值 损伤特性 

摘      要：本文采用溶胶-凝胶法制备了VO2和VO2-SiO2复合薄膜，并用X射线衍射仪（XRD）和紫外-可见分光光度计对薄膜的相结构和透过率进行了表征。结果表明，制备的VO2为单斜相（B）,VO2-SiO2复合薄膜的XRD图谱和VO2类似，薄膜在450～800 nm的光学透过率达到了90%以上。激光诱导损伤阈值（LIDT）测试结果显示，VO2-SiO2复合薄膜的LIDT为3.9 J/cm2,相比VO2薄膜提高了77.3%。通过场发射扫描电子显微镜（FESEM）和台阶仪研究了VO2薄膜和VO2-SiO2复合薄膜的损伤形貌差异，VO2薄膜呈现出熔融型损伤，VO2-SiO2薄膜则呈现出熔融型损伤和应力型损伤的共同特征。此外，构建了不同薄膜的激光诱导损伤模型，揭示了相关损伤特性和内在机制。