疏水性对溶胶-凝胶SiO2薄膜抗真空污染及抗激光损伤能力的影响

作     者：刘源 沈军 李晓光 周斌 张志华 LIU Yuan;SHEN Jun;LI Xiao-Guang;ZHOU Bin;ZHANG Zhi-Hua

作者机构：同济大学物理科学与工程学院上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室上海200092 上海理工大学理学院上海2000931 

出 版 物：《无机化学学报》 (Chinese Journal of Inorganic Chemistry)

年 卷 期：2013年第29卷第7期

页      面：1339-1344页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(No.11074189),国家自然科学基金联合基金U1230113) 国家科技支撑计划(2013BAJ01B01)资助项目 

主　　题：溶胶-凝胶 SiO2薄膜 疏水处理 激光损伤 

摘      要：以正硅酸乙酯作为前驱体,利用碱催化方式制备了SiO2溶胶,通过在溶胶中添加含疏水基团(-CH3)的六甲基二硅氮烷(HMDS)对溶胶进行改性,使用添加不同物质的量比HMDS改性后的溶胶用提拉法在K9基片上镀膜,获得了具有疏水性能的SiO2薄膜。采用自制接触角测量仪、紫外-可见-近红外分光光度计研究了薄膜的水接触角和透过率。测试了薄膜的激光损伤阈值,并观察了激光辐照后薄膜的损伤形貌。通过真空污染实验对薄膜的抗污染能力及抗激光损伤能力进行了研究。实验结果表明:经疏水改性的溶胶所镀制的薄膜激光损伤阈值由未改性样品的24.3 J·cm-2增加到37 J·cm-2(1 064 nm,10 ns),且抗真空污染能力大大加强:在真空环境下保存168 h后,未改性样品的峰值透过率下降了2%,而疏水改性后的样品峰值透过率仅下降了0.25%,并保持了较高的激光损伤阈值(30.8 J·cm-2)。