基于碳纳米管-金属肖特基接触的气体低压传感技术
作者机构：温州大学温州市微纳光电器件重点实验室
出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)
年 卷 期：2024年
学科分类：081702[工学-化学工艺] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金(62374118) 国家重点研发计划(2023YFF0723700)
摘 要：碳纳米管（CNT）具有独特的结构和优异的物理性能，在气体吸附的条件下，CNT-金属接触结构的电学性能会发生变化，这种变化可用于气体传感领域。采用Lift-off工艺和介电电泳沉积法（DEP）制备了基于CNT-金属肖特基结的CNT场效应管（CNT-FET）和CNT/Au电阻传感器，并在10-7～10-5Pa的低压环境下进行了氢气和氮气传感测试。CNT-FET和CNT/Au电阻传感器对氢气具有相似的传感效应，在测试压力区间内电流分别增长0.05 μA和0.14 μA。研制成果探索了低压气体传感的新途径。
同方期刊数据库